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사업분야

RF Products

RF Matcher는 반도체 및 디스플레이 공정의 Plasma System에서 Chamber와
RF Power Source의 임피던스(50Ω)를 실시간으로 정합하여 최대 전력을 전달해 주는 장치입니다.

이큐글로벌의 Matcher는 효율적인 Sensor / Motor 제어를 통해 빠르고 정확한 Matching Algorithm을 제공하며
완벽한 Matching 및 Power의 최대 효율을 고객에게 제공하고 있습니다.

Product Features
Matching Speed within 1sec
Auto/Manual Control
Air / Water Cooling
User Interface for Easy Operation
RS-232 / RS-485 / Analog Interface
Application
Descum Process
PECVD system
Dry Etch system
Sputtering system
OLED system
Atmospheric plasma system

Product Line-up

380kHz ~ 27MHz / 50W ~ 10kW 전 영역 제품에 대하여
고객 장비 사양에 맞춘 제품 공급 가능

: Customer Released
: Product Available

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Power 380kHz 2MHz 4MHz 12.56MHz 13.56MHz 27.12MHz
50W
600W
1.5kW
3kW
5kW
10kW