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사업분야

RF Products

RF Generator는 반도체 및 디스플레이 제조 공정 중 Plasma를 사용하는 System에서
AC 교류 전력을 RF 고주파 전력으로 변환해 주는 장치로써 Chamber 내부에서 공정에 필요한
반응 가스를 Plasma로 만들어 주기 위해 전력을 공급해 주는 장치입니다.

이큐글로벌의 Generator는 여러 Power, Frequency를 제공하며,
다양한 기능을 통해 최고 효율의 RF Generator를 고객에게 제공하고 있습니다.

Product Features
Stable Power Control
SMPS Mode DC Power Supply Design
Programmable Power Ramping
Air / Water Cooling
User Interface for Easy Operation
RS-232 / RS-485 / Analog Interface
Application
Descum Process
PECVD system
Dry Etch system
Sputtering system
OLED system
Atmospheric plasma system

제품정보

400kHz

Power 3kW
Power Accuracy 3000W ± 1%
Interface Analog User port, RS-232C
Dimension(WxDxH)(mm) 482 x 573 x 170
Cooling Water Cooling

2MHz

Power 1.5kW 3kW
Power Accuracy 1500 ~ 3000W ± 1%
Interface Analog User port, RS-232C
Dimension(WxDxH)(mm) 482 x 523 x 130 482 x 573 x 170
Cooling Air Cooling Water Cooling

13.56MHz

Power 600 ~ 1.5kW 5kW 8kW
Power Accuracy 600 ~ 8000W ± 1%
Interface Analog User port, RS-232C
Dimension(WxDxH)(mm) 482 x 523 x 130 482 x 573 x 170 482 x 573 x 170
Cooling Air / Water Cooling Water Cooling Water Cooling

Legacy & Customized Product

단종된 Major OEM 제품을 대체하는 동일 사양의 제품 개발을 완료하였으며
고객 요청에 따른 100kHz ~ 27MHz 주파수 대역 제품 개발 공급 가능

EQG-28B

Power 2.75kW
Interface Analog 15P
Dimension(WxDxH)(mm) 482 x 523 x 130
Cooling Water Cooling
Replaceable with ENI OEM-28B

EQG-5000NP

Power 5kW
Interface Analog 15P
Dimension(WxDxH)(mm) 482 x 573 x 170
Cooling Water Cooling
Replaceable with AE RFG-5500

EQG-1250/3000

Power 1.25/3kW
Interface Analog 25P
Dimension(WxDxH)(mm) 177.5 x 380 x 124.5
Cooling Water Cooling
Replaceable with AE RFG 1250/3000