RF Products
RF Generator는 반도체 및 디스플레이 제조 공정 중 Plasma를 사용하는 System에서
AC 교류 전력을 RF 고주파 전력으로 변환해 주는 장치로써 Chamber 내부에서 공정에 필요한
반응 가스를 Plasma로 만들어 주기 위해 전력을 공급해 주는 장치입니다.
이큐글로벌의 Generator는 여러 Power, Frequency를 제공하며,
다양한 기능을 통해 최고 효율의 RF Generator를 고객에게 제공하고 있습니다.
Product Features
Stable Power Control
SMPS Mode DC Power Supply Design
Programmable Power Ramping
Air / Water Cooling
User Interface for Easy Operation
RS-232 / RS-485 / Analog Interface
SMPS Mode DC Power Supply Design
Programmable Power Ramping
Air / Water Cooling
User Interface for Easy Operation
RS-232 / RS-485 / Analog Interface
Application
Descum Process
PECVD system
Dry Etch system
Sputtering system
OLED system
Atmospheric plasma system
PECVD system
Dry Etch system
Sputtering system
OLED system
Atmospheric plasma system
제품정보
400kHz
| Power | 3kW |
|---|---|
| Power Accuracy | 3000W ± 1% |
| Interface | Analog User port, RS-232C |
| Dimension(WxDxH)(mm) | 482 x 573 x 170 |
| Cooling | Water Cooling |
2MHz
| Power | 1.5kW | 3kW |
|---|---|---|
| Power Accuracy | 1500 ~ 3000W ± 1% | |
| Interface | Analog User port, RS-232C | |
| Dimension(WxDxH)(mm) | 482 x 523 x 130 | 482 x 573 x 170 |
| Cooling | Air Cooling | Water Cooling |
13.56MHz
| Power | 600 ~ 1.5kW | 5kW | 8kW |
|---|---|---|---|
| Power Accuracy | 600 ~ 8000W ± 1% | ||
| Interface | Analog User port, RS-232C | ||
| Dimension(WxDxH)(mm) | 482 x 523 x 130 | 482 x 573 x 170 | 482 x 573 x 170 |
| Cooling | Air / Water Cooling | Water Cooling | Water Cooling |
Legacy & Customized Product
단종된 Major OEM 제품을 대체하는 동일 사양의 제품 개발을 완료하였으며
고객 요청에 따른 100kHz ~ 27MHz 주파수 대역 제품 개발 공급 가능
EQG-28B
| Power | 2.75kW |
|---|---|
| Interface | Analog 15P |
| Dimension(WxDxH)(mm) | 482 x 523 x 130 |
| Cooling | Water Cooling |
| Replaceable with ENI OEM-28B | |
EQG-5000NP
| Power | 5kW |
|---|---|
| Interface | Analog 15P |
| Dimension(WxDxH)(mm) | 482 x 573 x 170 |
| Cooling | Water Cooling |
| Replaceable with AE RFG-5500 | |
EQG-1250/3000
| Power | 1.25/3kW |
|---|---|
| Interface | Analog 25P |
| Dimension(WxDxH)(mm) | 177.5 x 380 x 124.5 |
| Cooling | Water Cooling |
| Replaceable with AE RFG 1250/3000 | |