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사업분야

Plasma Abatement System

[ 전구체(Precursor) 분해용 PAS 및 현장 설치 모습 ]

Dimension

(모델에 따라 달라질 수 있음)

  • 장치(리액터) Size(W x D x H) : 355mm x 875mm x 525mm
  • 장치 무게 : ~ 300kg
  • Reacting gas : O2, NF3 (Optional)
  • Power range : 3~5kW
  • Target Application : ZrO2, TiN, HfO, TaO
[ 전구체(Precursor) 분해용 PAS 및 현장 설치 모습 ]

Dimension

(모델에 따라 달라질 수 있음)

  • 장치(리액터) Size(W x D x H) : 355mm x 875mm x 525mm
  • 장치 무게 : ~ 300kg
  • Reacting gas : O2, NF3 (Optional)
  • Power range : 3~5kW
  • Target Application : ZrO2, TiN, HfO, TaO

[ PAS Application at C2F6 ]

[ PAS Application at CF4 ]