loading image

사업분야

Plasma Abatement System

[ 전구체(Precursor) 분해용 PAS 및 현장 설치 모습 ]

Dimension

(모델에 따라 달라질 수 있음)

  • 장치(리액터) Size(W x D x H) : 355mm x 875mm x 525mm
  • 장치 무게 : ~ 300kg
  • Reacting gas : O2, NF3 (Optional)
  • Power range : 3~5kW
  • Target Application : ZrO2, TiN, HfO, TaO
[ 전구체(Precursor) 분해용 PAS 및 현장 설치 모습 ]

Dimension

(모델에 따라 달라질 수 있음)

  • 장치(리액터) Size(W x D x H) : 355mm x 875mm x 525mm
  • 장치 무게 : ~ 300kg
  • Reacting gas : O2, NF3 (Optional)
  • Power range : 3~5kW
  • Target Application : ZrO2, TiN, HfO, TaO

PAS Application at Zirconium Oxide Process (FTIR)

PAS 시리즈 General Spec Sheet

가로로 스크롤 하여 보실 수 있습니다.

NO Items Configurations Remakrs
1 Interface - Power On/Off Relay and Communication functions in Parallel
- Communication : 232, 485, 422, Device Net, etc.
2 Hardware - Bimetal Temperature Switch - Leak Sensor for Water Cooling Type
3 Software - Capable to select control type (Voltage / Current)
HMI (Human Machine Interface) - Fault Log Storage
- Log Data Storage / Display
Power, Voltage, Current
4 Main Control Type - PLC Touch Panel
5 Input - Input Voltage: 208 ±10%, 3Φ / Frequency: 50 – 60Hz
- Cooling Water: 5 – 7 SLM
Output - Power Range : 2kW –3kW
- Frequency: 100kHz – 290kHz
- Single Output