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사업분야

Plasma Abatement System

기존 제품명 - PPS
(Plasma Pretreatment System)

PAS (Plasma Abatement System) 시리즈는
반도체, 디스플레이 및 기타 장비의 진공배관측에서 플라즈마 처리를 이용하여
Pump로 배출되는 Process Gas 또는 공정 부산물을 무해 가스 및
친환경적인 부산물로 분해 및 치환시키는 시스템입니다.

Safety

공정 배출 미반응 소스
및 Byproduct 상태 개선

폭발 성질 Gas 안정화 처리
Precursor 안정화 처리
ZrO2 / HfO2
TiCl4
HCDS (Si2Cl6)
SiH4

Pump,
Pipe PM 주기 개선

PUMP MTBF(Mean Time
Between Failure) 연장 효과
- Exhaust Line 막힘 현상 감소
- 장비 생산성 증대

Sticky by-product 감소
배출성 개선
Particle 특성 개선
입자 크기 감소
성분비 변화
ZrO2 HfO2 TiCl4 SiO2 AL2O3

배출 가스 저감

Green-House Gas (PFCs, N2O, SF6...)
Toxic Gas

공정 배출 가스 분해 배출
Exhaust Line 환경 개선